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HM5-160全自动检测系统
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HM5-160全自动检测系统
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1、高速度、高精度测量系统。 2、**160mm*160mm范围自动测量。 3、重复测量精度≦0.5µm。 4、适用高反光、高透光材料。 5、数据重复测量的一致性。 6、测量膜厚、线宽、平面度等。
LHTG/LHTM/LHTW
Empyrean
V-Sorb4800-金埃谱
EMIA-820V
Hydrolink
Autoflex R837
3H-2000A
SQL810C/1010C
电磁波固体流量计
UNI800B
略
