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高真空电阻热蒸发镀膜机

高真空电阻热蒸发镀膜机

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鹏城半导体技术(深圳)有限公司

广东

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参考报价:

面议

品牌:

鹏城半导体

型号:

高真空电阻热蒸发镀膜机

关注度:

618

产品介绍

高真空电阻热蒸发镀膜机(高真空镀膜机)采用电阻热蒸发技术,它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜。可用于生产和科学实验,可根据用户要求专门订制;可用于材料的物理和化学研究;可用于制备金属导电电极;可用于有机材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池研究实验等。


设备构成

-单镀膜室

-单镀膜室+进样室

-单镀膜室+手套箱(可将镀膜室放在手套箱内)

-单镀膜室+进样室+手套箱(可将镀膜室放在手套箱内)

-多镀膜室+样品传递室+手套箱(组成团簇式结构,样品传递采用真空机械手)

设备组成

电阻热蒸发源组件、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵(或冷泵)真空机组、旋转基片加热台、工作气路、手套箱连接部件、样品传递机构,膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。

热蒸发源类型和数量,可根据用户需要进行配置。

可选件:膜厚监控仪,恒温制冷水箱。

热蒸发源种类及配置

电阻热蒸发源组件:数量:1~12套(可根据用户要求配装);

电阻热蒸发源种类:钽(钨或钼)金属舟热蒸发源组件、石英舟热蒸发源组件、钨极或钨蓝热蒸发源组件、钽炉热蒸发源组件(配氮化硼坩埚或陶瓷坩埚)、束源炉热蒸发组件(配石英坩埚或氮化硼坩埚)。

高真空电阻热蒸发镀膜机(高真空镀膜机) 工作条件(实验室应具备的设备工作条件)

供电:4kW,三相五线制~ AC 380V

工作环境湿度:10℃~ 40℃

工作环境温度:≤50%

冷却循环水:0.2m3/h,水温18℃~ 25℃

水压:0.15MPa ~ 0.25MPa

真空性能

极限真空:7×10-5Pa~7×10-6Pa

设备总体漏放率:关机12小时,≤10Pa

操作方式

手动、半自动


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