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Tergeo等离子清洗机

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产品介绍

Tergeo等离子清洗机

特 征:

● 模式:直接浸泡式等离子清洗可以高速刻蚀和表面改性;

远程等离子体可以轻微的清除表面污染,如SEM/TEM样 品清洗

● 操作:自动配方执行;自动作业顺序执行;亦手动控制

● 等离子传感器:双等离子强度传感器(**申请中)实时监测

等离子源和远程等离子源且等离子强度实时显示LCD触摸屏上

● 先进工艺控制:压力传感器、温度传感器、MFC气体流量计、双等离子强度传感器、自动阻抗匹配

● 腔体材料:铝法兰,石英腔体

● 石英腔体尺寸:内径:110mm;深280mm

● 样品架:2mm厚高纯度石英板

● 射频天线:外部射频电极和天线设计减少了内部金属电极 在等离子清洗机中发现的金属溅射问题

● 射频功率:13.56mhz射频电源,自动阻抗匹配

射频功率有两种选择:0-75watt和0-150watt

● 工艺气路:高达三个MFC气路

● 用户界面:7寸电阻式触摸屏

● 软件:总共20个可定制的配方。每个工艺多达三个步骤

Direct & downstream 清洗模式

典型的应用:

  • 引线键合倒装芯片底部填充,器件的封装和解封

  • 光刻胶灰化、除渣、硅片清洗

  • PDMS/微流控/载玻片/芯片实验

  • 去除的扫描电镜/电镜样品上碳氢污染物

  • 改善金属与金属或复合材料的结合

  • 改善塑料、聚合物和复合材料的粘接

PDMS/玻璃键合的应用笔记

Recipe :

PDMS bonding: RF power 15Watt

RF pulse duty ratio: 10% to 20%Gas: Room air

Flow rate: 5sccm

Time: 30~60 seconds

Figure 1 经过等离子体处理后,PDMS立即与玻璃结合,界面截留的气体被自动挤出,无需在烤箱里固化PDMS/玻璃胶几个小时。

Figure 2,粘合一分钟后,用户试图测试PDMS/玻璃粘合度,由于粘合非常牢固,即使由于强大的拉力部分PDMS被撕掉之后,PDMS/玻璃粘合界面仍然完好无损。

我公司专业销售PIE Plasma 产品,并提供PIE Plasma产品的售前售后服务,如您对PIE Plasma产品感兴趣,欢迎前来咨询!

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