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定制-微型热沉积系统
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厦门毅睿科技有限公司
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定制-微型热沉积系统
579
微型热沉积系统
Description:
●尺寸:600(W)x1015(D)x1800(H)
●真空室:350(D) x 440(H)
●可实现<+/-3%的均匀沉积
●极限压力 ≤5E-7Torr
●衬底大小:3”
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll
