半导体行业专用仪器-标准型涂胶显影机-广东大族半导体装备科技有限公司-产品详情

标准型涂胶显影机

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品牌：

大族半导体

型号：

标准型涂胶显影机

关注度：

337

产品介绍

主要特点：

设备特点：

1、占地小、稳定性高、操作与维护方便

2、可广泛用于硅，碳化硅，氮化镓，砷化镓，玻璃等材料的涂胶显影工艺

3、可覆盖0.35um以上工艺需求，满足2~6寸晶圆需求，可涂覆3~20000CP光刻胶

4、控制精度高，实时控制解决方案，Ether CAT 通讯，高精度摆臂及传输机构

5、自主可控的技术方案，自主开发的软件系统，充分满足定制化要求

主要参数:

主要参数	片盒数量	2&3CS
	wafer 类型	圆片、方片
	wafer 尺寸（mm）	50-150
	产能（WPH）	110
	衬底材料	Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
	适用工艺	g-line、i- line、PI

设备特点：

1、占地小、稳定性高、操作与维护方便

2、可广泛用于硅，碳化硅，氮化镓，砷化镓，玻璃等材料的涂胶显影工艺

3、可覆盖0.35um以上工艺需求，满足2~6寸晶圆需求，可涂覆3~20000CP光刻胶

4、控制精度高，实时控制解决方案，Ether CAT 通讯，高精度摆臂及传输机构

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