半导体行业专用仪器-全自动8吋减薄机-江苏元夫半导体科技有限公司-产品详情

全自动8吋减薄机

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江苏元夫半导体科技有限公司

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品牌：

江苏元夫

型号：

全自动8吋减薄机

关注度：

产品介绍

设备特点

采用两个主轴，三个工作台的全自动研磨机，4/5/6/8吋晶圆加工可兼容

Si、SiC等研磨材料均能满足

为实现高品质研磨加工，主机搭载高功率输出、高刚性、低振动空气电主轴；工作台主轴亦搭载高刚性、低振动、低热膨胀、回转精度高的的空气轴承

配置接触式测厚模块，实现闭环系统控制

搭配自主研制的250mm磨轮，有效去除晶圆磨削应力，减少表面损伤，保证芯片强度

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全自动8吋减薄机

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