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MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
面议
昂坤视觉
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
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主要技术指标
l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系统
l 测温波长:940nm
l 测量反射率波长:940nm, 633nm 或定制
l 曲率测量传感器: CCD
l 测温范围: 450度-1450度
l 测量准确度:±1度,重复性精度 <0.5度
l 一个温度反射率测量通道,1个曲率测量通道(可配置多通道)
l 2点RTC探头,同时测量温度,反射率和曲率
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
电脑组合体系VG42
UNI800C多物料配料控制仪
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PicoFemto扫描电镜原位液体-电化学测量系统
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