粉体行业在线展览
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F300-EPI GaAs
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昂坤视觉（北京）科技有限公司
北京
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昂坤视觉
F300-EPI GaAs
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l 适用于GaAs EPI外延片
l 具备AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV ~15.6mm
l 缺陷检测空间分辨率：1.3μm x 1.3μm
l Review复查分辨率： 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷误检率 ≤ 2%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%（选配）
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
