粉体行业在线展览
F300-DPW
面议
昂坤视觉
F300-DPW
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l 具备AOI 、OCR等功能;兼容4 inch和6 inch晶圆
l 自研光学镜头: FOV 15.6mm
l *小缺陷检测能力:0.3μm
l 缺陷检出率 ≥ 98%
l 缺陷重复性 > 95%
l 镭刻码OCR识别率 ≥ 99.9%(选配)
l 4 inch产能 ≥ 100片/小时
l 6 inch产能 ≥ 60片/小时
l 具备12个分规料盒(Cassette)
l 具备非接触Aligner功能
l 具备晶圆分级功能
l 具备输出检测报表和缺陷分布图功能
l 具备缺陷分类功能,可识别缺陷类别
l 支持SEMI自动化标准SECS/GEM通讯接口
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS