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E1000 化合物半导体缺陷检测设备
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昂坤视觉
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
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E1000 化合物半导体缺陷检测设备
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石,砷化镓,钽酸锂,石英玻璃,磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)等缺陷,*小可检测缺陷81nm;支持4@、6@、8@晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。
适应晶圆尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um(其它厚度需要测试)
F2000 集成电路前道晶圆缺陷检测设备
图形化晶圆缺陷检测设备
E3200 GaN缺陷检测设备
E1000 化合物半导体缺陷检测设备
E3500 SiC 缺陷检测设备
F300-PSS PSS 缺陷检测设备
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷检测设备
F300-DPW
SPI300 晶圆形貌测量与分选设备
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS