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E3500 SiC 缺陷检测设备
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E3500 SiC 缺陷检测设备
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E3500是针对SiC材料的缺陷检测设备，可以检测SiC衬底、同质外延等的表面和荧光缺陷。可以检测并区分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4@、6@、8@晶圆检测，具有高产能、高检测精度的优点。
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