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E3200 GaN缺陷检测设备

E3200 GaN缺陷检测设备

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昂坤视觉(北京)科技有限公司

北京

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面议

品牌:

昂坤视觉

型号:

E3200 GaN缺陷检测设备

关注度:

143

产品介绍

E3200是针对GaN 功率器件和HB GaN LED应用,可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和荧光缺陷,*小检测颗粒81nm。可以检测并区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。支持4@、6@、8@晶圆检测,具有高产能、检测准确和检出率高的优点。

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E3200 GaN缺陷检测设备

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