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快速高温退火设备RTA RSA-06

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天津市万德思诺国际贸易有限公司

天津

产品规格型号
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面议

品牌:

万德思诺

型号:

快速高温退火设备RTA RSA-06

关注度:

85

产品介绍

产品图片:

产品型号:

RSA-06

产品介绍:

  1. Ceramic, Metal Free的热场设计

  2. 可以实现± 10℃以下(1500℃) 的面内温度分布。

  3. 急加热急冷却的设计, 即使单片对应整体速度也很快

  4. 反应炉和冷却室是分开存在, 加热部可以保持均一高温。 (**申请)

  5. 加热部一直是高温保持,综合运转成本会降低

  6. 本装置为高真空对应(可以使用干泵+涡轮分子泵)

  7. **可以对应2000℃。

  8. 我们将通过充分利用仿真软件来建议**的热场

基本规格(SPEC)


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