半导体行业专用仪器-PRISMO UniMax® MOCVD设备-中微半导体设备（上海）股份有限公司-产品详情

PRISMO UniMax® MOCVD设备

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品牌：

中微公司

型号：

PRISMO UniMax® MOCVD设备

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产品介绍

中微具有自主知识产权的PRISMO UniMax® MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可同时加工108片4英寸或40片6英寸高性能氮化镓基蓝绿光Mini LED外延晶片，通过石墨盘的调整，可扩展至同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，其工艺能力还可延展到生长8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制，这一创新设计具备优异的生产灵活性。中微PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了新颖的局部温度补偿加热系统，专为高性能Mini LED量产而设计，具备优异的产出波长均匀性及产出稳定性。此外，PRISMO UniMax® MOCVD设备配置了785mm大直径石墨托盘，极大地提高了设备产能，并有效地降低了Mini LED外延片的生产成本。

产品特点

自主的实时监控系统

精准的参数控制

自动化的控制与维护功能

符合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

可独立控制的反应腔运行模式

新颖的局部温度调控加热系统

优异的LED波长均匀性

获取更多信息，请访中微半导体设备（上海）股份有限公司网站

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PRISMO UniMax® MOCVD设备

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