半导体行业专用仪器-Plasma Scrubber等离子式废气处理设备-中微半导体设备（上海）股份有限公司-产品详情

Plasma Scrubber等离子式废气处理设备

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中微半导体设备（上海）股份有限公司

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品牌：

中微公司

型号：

Plasma Scrubber等离子式废气处理设备

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产品介绍

本设备用于处理半导体光伏面板等行业生产制程中都会产生的大量易燃剧毒有害气体，废气通过真空管进入设备后在反应腔内被分解成无害成分，经过水淋和颗粒捕捉后能达到安全的排放标准。

本设备通过等离子发生器结合氮气产生等离子火焰，该火焰能量集中，适合分解易燃易爆剧毒及温室气体。设备设计有专用的粉尘冲洗式反应腔，有效防止腔体腐烂和堵塞。

产品特点

设备占地面积小、便于安装

不需要燃气等化石燃料（仅用氮气），减碳节能

SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半导体特气处理效率高

开关机速度快，不需要长时间等待加热和散热

安全性能好，灵活互备

竞争优势

自研发稳定便于维护的火炬，缩短安装时间

反应腔采用粉尘冲洗设计

入口管采用新型防堵方案，PM周期长

可根据客户需求，提供定制化服务

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Plasma Scrubber等离子式废气处理设备

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