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SAB9500-半自动 超原子束抛光机

SAB9500-半自动 超原子束抛光机

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青禾晶元半导体科技（集团）有限责任公司

天津

产品规格型号
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面议

品牌：

青禾晶元

型号：

SAB9500-半自动 超原子束抛光机

关注度：

29

产品介绍

SAB9500是一款半自动的超原子束抛光机，可利用超原子束对2-12寸晶圆或不规则样品进行超精密表面抛光，可加工材料包括Si、SiC、InP、GaAs、GaN、金刚石、LN、LT、光学晶体等。

2-12寸及不规则样品兼容晶圆尺寸

  • 项目

    指标

  • 晶圆尺寸

    2-12寸及不规则样品

  • 上料模式

    手动上下料

  • 传输系统

    手动/定制工装

  • 去除效率

    60keV：800 Å*cm2/s@SiO2
    20keV ：40 Å*cm2/s@SiO2

  • 支持工艺气体

    Ar/SF6/O2/He或其他混合气体

  • 束流强度

    ＞100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高宽<10mm


获取更多信息，请访青禾晶元半导体科技（集团）有限责任公司 网站

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