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SAB9510-半自动 超原子束TRIM机

SAB9510-半自动 超原子束TRIM机

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青禾晶元半导体科技（集团）有限责任公司

天津

产品规格型号
参考报价：

面议

品牌：

青禾晶元

型号：

SAB9510-半自动 超原子束TRIM机

关注度：

26

产品介绍

SAB9510是一款全自动的超原子束表面TRIM机，可通过Cassette自动上下料，适用于半导体薄膜超精密TRIM批量化生产。

  • 项目

    指标

  • 晶圆尺寸

    4-12寸

  • 上料模式

    Cassette自动上下料

  • 晶圆校准

    Aligner

  • 去除效率

    800 Å*cm²/s @Si

  • 支持工艺气体

    NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合气体

  • 束流强度

    ＞100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高宽<5mm

  • 离子能量

    60kev


获取更多信息，请访青禾晶元半导体科技（集团）有限责任公司 网站

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SAB9510-半自动 超原子束TRIM机

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