半导体行业专用仪器-JHQ-410系列激光划片机-北京中电科电子装备有限公司-产品详情

JHQ-410系列激光划片机

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品牌：

中电科

型号：

JHQ-410系列激光划片机

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产品介绍

概述
　　JHQ-410系列激光划片机，配置进口激光器，加工效率高，质量稳定，设备简单易操作；提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式，可升级提供六边形划切（三角形切割方式）。
全系列产品分为四款设备：
　　JHQ-41 0. JHQ-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切，不支持底部对准功能。
　　JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ两款设备拥有独特的双光路系统，为单面光刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切，支持底部对准功能。
性能指标

划切参数	划切对象	4寸至6寸GPP晶圆和硅晶圆
	划切方式	等距矩形切割，支持三角形切割（手动对准）
	激光参数	光纤激光器，**功率20W
	划切速度	W250mm/s
	切割精度	±0.003mm
	切割线宽	0.035-0.055mm
	切割深度	<0.12mm
工作台参数	工作范围	220mm*200mm
	工作台分辨率	0.0005mm
	旋转电机行程	360° 185°
	旋转电机定位精度	30”
	Z向定位精度	0.01mm
	Z向激光调焦行程	20mm
其他	自动对位范围	35mil-305mil
其他	自动对位精度	0.01mm
外形尺寸 (WxDxH) mm	JHQ-410/JHQ-410D	760x1165x1650
外形尺寸 (WxDxH) mm	JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ	940x1165x1650
设备重重kg	JHQ-410/JHQ-410D	750
设备重重kg	JHQ-41 0Z/JHQ-410DZ	800

产品特色
　　●底部对准
　　●背面打标
　　●自动上下料
　　●自动对位

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JHQ-410系列激光划片机

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