半导体行业专用仪器-Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备-中微半导体设备（上海）股份有限公司-产品详情

Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备

Primo SSC AD-RIE®

直接联系

中微半导体设备（上海）股份有限公司

上海

产品规格型号

参考报价：

面议

品牌：

中微公司

型号：

Primo SSC AD-RIE®

关注度：

产品介绍

Primo SSC AD-RIE®是中微于2013年推出的单反应台电介质刻蚀产品，在Primo AD-RIE®产品技术和Primo平台概念的基础上，通过在一个平台上集成六个单反应台以优化产能。除了可独立输运气体的单反应台腔体设计以外，为应对2x纳米以下特别是接触孔刻蚀等关键制程的挑战，该设备还具有以下特性：同步脉冲射频系统、可冷却聚焦环工艺组件和甚低压气体抽运系统等。Primo SSC AD-RIE有利于处理多层薄膜刻蚀的微负载问题、极端边缘形貌问题以及接触孔刻蚀的终端控制问题。Primo SSC AD-RIE已在主流客户16纳米芯片生产线上稳定量产。

产品特点

具有独立气体输运系统的单反应台腔体设计

多区气体调节以及双区静电吸盘温度控制

高抽气率，大容量分子泵

双级同步脉冲射频系统（低频和高频）

可冷却聚焦环工艺组件，提升晶圆边缘性能

高上下电极面积比，以应用于高深宽比结构刻蚀

竞争优势

高电介质材料刻蚀速率，多手段刻蚀均匀度调节

双级同步脉冲射频系统

先进气体抽运系统，以进一步扩大工艺窗口

中高深宽比结构刻蚀的低成本解决方案

获取更多信息，请访中微半导体设备（上海）股份有限公司网站

产品咨询

Primo SSC AD-RIE®刻蚀设备

Primo SSC AD-RIE®

请填写您的姓名：*

请填写您的电话：*

请填写您的邮箱：*

请填写您的单位/公司名称：*

请提出您的问题：*

您需要的服务：

询盘报价、价格查询

发送产品资料

与您电话联系

发送

中国粉体网保护您的隐私权：请参阅我们的保密政策来了解您数据的处理以及您这方面享有的权利。您继续访问我们的网站，表明您接受我们的使用条款