粉体行业在线展览
CHDY006
面议
CHDY006
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设备型号
CHDY006
功能特点
通过高精度硬脆加工能力,支撑碳化硅半导体产业链的规模化生产与技术研发。
可处理1-22mm厚碳化硅滚圆,掏棒工艺;10mm内厚度,滚圆切割时间12-15分钟;10-20mm厚碳化硅棒料,滚圆切割时间30分钟内;可兼容尺寸100-400mm直径碳化硅棒料,任意平整位置掏棒,不必对中心。
应用场景
对单晶锭进行滚圆加工,将不规则块状晶体制成高精度圆柱晶棒,为后续切片、抛光等工序提供合格基材。
产品参数
项目 | 参数 |
激光器 | 1064nm |
*小光斑 | 100μm |
重复定位精度 | ±0.01mm |
供电电源 | 220V/50Hz/5kVA |
尺寸L*W*H | 1760*1310*1900/mm |
加工直径范围 | 100-400mm |
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll