粉体行业在线展览
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CHLY001
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硅来半导体（武汉）有限公司
武汉
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CHLY001
47
设备型号
CHLY001
功能特点
高精度视觉检测系统，能够快速准确的定位并识别晶锭内部掺杂区域质量，采用先进的图像处理算法，可提供清晰的检测图像和详细的检测报告。
应用场景
在SiC衬底片制造加工过程中，来料检测至关重要，视觉检测设备能精准检测各种尺寸、不用品质的晶片，高效剔除不合格品，保障生产流程稳定、高效运行。
产品参数
项目 | 参数 |
检测范围 | 6-inch/8-inch |
上下行程 | 0-80mm |
重复定位精度 | 0.001mm |
运动部件 | 上料直线电机：300mm/s |
设备尺寸(W*D*H) | 680mm×680mm×700mm |
设备质量 | 约80KG |
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll
