粉体行业在线展览
CHDY005
面议
CHDY005
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设备型号
CHDY005
功能特点
可处理8mm内碳化硅滚圆,掏棒工艺,可做任意形状碳化硅切割;
0.5mm厚碳化硅8寸改6寸效率45s/pcs;切割精度±0.01mm。
应用场景
在碳化硅衬底生产流程中,用于将滚圆后的圆柱晶棒切割成厚度均匀的晶片(即 “切片” 环节),为后续磨片、抛光提供基础基材,是从晶棒到晶片的关键转化设备。
产品参数
项目 | 参数 |
激光器 | 1064nm |
*小光斑 | 100μm |
重复定位精度 | ±0.001mm |
供电电源 | 220V/50Hz/5kVA |
尺寸L*W*H | 1460*1360*1900/mm |
加工幅面 | 400*400mm |
热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
XRD-晶向定位
CVD 真空化学气相沉积设备
等离子体增强化学气相沉积系统CVD
FT-391
BTF-1200C-RTP-CVD
FM-W-PDS
Gasboard-2060
自动划片机
等离子化学气相沉积系统-PECVD
Pentagon Qlll