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碳化硅改片机

CHDY005

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硅来半导体(武汉)有限公司

武汉

产品规格型号
参考报价:

面议

型号:

CHDY005

关注度:

104

产品介绍

设备型号

CHDY005


功能特点

可处理8mm内碳化硅滚圆,掏棒工艺,可做任意形状碳化硅切割;

0.5mm厚碳化硅8寸改6寸效率45s/pcs;切割精度±0.01mm。


应用场景

在碳化硅衬底生产流程中,用于将滚圆后的圆柱晶棒切割成厚度均匀的晶片(即 “切片” 环节),为后续磨片、抛光提供基础基材,是从晶棒到晶片的关键转化设备。


产品参数


项目

参数

激光器

1064nm

*小光斑

100μm

重复定位精度

±0.001mm

供电电源

220V/50Hz/5kVA

尺寸L*W*H

1460*1360*1900/mm

加工幅面

400*400mm


产品咨询

碳化硅改片机

CHDY005

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